一种He-Ne激光器双折射外腔回馈位移测量系统

摘要

本发明涉及一种He-Ne激光器双折射外腔回馈位移测量系统，它包括全内腔He-Ne单纵模激光器，其发出单频线偏振光，一部分单频线偏振光经外腔回馈系统向稳频信号探测和处理系统发送回馈光，另一部分由稳频信号探测和处理系统向全内腔He-Ne单纵模激光器发送稳频探测信号；全内腔He-Ne单纵模激光器向测量信号探测与处理系统发出回馈调制光，得到测量结果；外腔回馈系统包括压电陶瓷、外部反射镜和双折射元件，压电陶瓷在外部驱动电压作用下推动外部反射镜沿激光轴线方向左、右移动，全内腔He-Ne单纵模激光器输出的单频线偏振光经外部反射镜反射，两次经过双折射元件，回馈到谐振腔中。本发明具有量程大、分辨率高的特点，本发明能广泛应用于激光测量系统应用中。

主权项

一种He Ne激光器双折射外腔回馈位移测量系统，其特征在于：它包括全内腔He Ne单纵模激光器、外腔回馈系统、稳频信号探测和处理系统以及测量信号探测与处理系统；所述全内腔He Ne单纵模激光器发出单频线偏振光，一部分单频线偏振光经外腔回馈系统返回到所述全内腔He Ne单纵模激光器内，另一部分单频线偏振光经由所述稳频信号探测和处理系统向所述全内腔He Ne单纵模激光器发送稳频探测信号；所述全内腔He Ne单纵模激光器向所述测量信号探测与处理系统发出受到回馈调制的激光，得到位移测量结果；所述外腔回馈系统包括压电陶瓷、外部反射镜和双折射元件，所述压电陶瓷在外部驱动电压作用下推动所述外部反射镜沿激光轴线方向左、右移动，所述全内腔He Ne单纵模激光器输出的单频线偏振光经所述外部反射镜反射，两次经过所述双折射元件，回馈到所述谐振腔中。