发明名称 |
微机电系统电路以及控制微机电系统电路的方法 |
摘要 |
一种微机电系统电路和控制微机电系统电路的方法,该方法包括根据微机电系统装置的移动以产生一电流,其中此移动被一控制信号所控制;根据该电流以产生一峰值电压;以及当该峰值电压超出一预定范围时调整该控制信号。本发明的微机电系统电路的操作电压是根据机械元件的移动距离来控制,所以会比其他方法消耗更少的功率。更进一步,因为上述的操作电压已控制,所以由PVT及Q因素所造成机械元件移动距离的变异也随之消除。 |
申请公布号 |
CN102253645A |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN201010290529.3 |
申请日期 |
2010.09.20 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
黄明杰;普强荣;陈建宏;林志昌;隋彧文 |
分类号 |
G05B19/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/02(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
姜燕;陈晨 |
主权项 |
一种控制微机电系统电路的方法,包括:根据该微机电系统电路的移动,产生一电流,其中该移动被一控制信号所控制;根据该电流,产生一峰值电压;以及当该峰值电压超出一预定范围时,调整该控制信号。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |