| 发明名称 | 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件 | ||
| 摘要 | 本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102257431A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN200980151852.8 | 申请日期 | 2009.12.16 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 松谷宽;上野巧;亚历山大·尼古拉;山下幸彦;七海宪;谷本明敏 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;金鲜英 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||