发明名称 SEMICONDUCTOR TUNNEL-OPSTELLING, BEVATTENDE MEERDERE INRICHTINGEN TEN BEHOEVE VAN HET DAARMEDE BEWERKSTELLIGEN VAN EEN (SUB) NANOMETER HOGE LAAG VAN DEELTJES VAN EEN VASTE SUBSTANTIE OP DE OPVOLGENDE, ONONDERBROKEN ERDOORHEEN VERPLAATSENDE SEMICONDUCTOR SUBSTRAAT-GEDEELTES.
摘要
申请公布号 NL1037191(C) 申请公布日期 2011.11.23
申请号 NL20091037191 申请日期 2009.08.11
申请人 BOK, EDWARD 发明人 BOK, EDWARD
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址