氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法

摘要

本发明公开一种氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法，在热玻璃传送辊道上方装有化学气相沉积镀膜反应器，将玻璃基板加热到设定温度后，通过传送辊道输送到化学气相沉积镀膜反应器下方，锌源、氟源以及氧源气化后由热载气携带到化学气相沉积镀膜反应器进行气体的混合和分配，并向移动中的玻璃基板表面沉积高透低电阻的氟掺杂氧化锌透明导电膜，随后进行退火冷却，保证膜层晶核充分生长。本发明利用常压化学气相沉积法，在移动的热玻璃表面沉积高可见光透过率、低电阻的氟掺杂氧化锌透明导电膜，可以结合浮法玻璃生产线进行大面积的连续的生产，生产的透明导电膜玻璃可广泛应用于太阳能电池、液晶平板显示器、节能窗户及超导体等领域。

主权项

氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法，其特征在于，a）将玻璃基板加热到设定温度，b）锌源、氟源以及氧源气化后由热载气携带到化学气相沉积镀膜反应器进行气体的混合和分配，c）加热后的玻璃基板随传送辊道移动，化学气相沉积镀膜反应器向移动中的玻璃基板表面沉积氟掺杂氧化锌透明导电膜，随后进行退火冷却，保证膜层晶核充分生长。