发明名称 |
三氯氢硅汽化工艺 |
摘要 |
本发明涉及到多晶硅生产工艺,具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化工艺,属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化工艺,包括(1)精馏得到的高纯三氯氢硅液体经计量后进入蒸发器蒸发;(2)蒸发得到的三氯氢硅气体与经计量后的氢气在气体混合器混合,得到混合气。本发明的三氯氢硅汽化工艺,采用三氯氢硅气体与氢气进行混合,可以得到配比稳定、混合均匀的混合气;原料的混合更均匀,有利于还原炉内多晶硅硅棒的均匀生长,生长出的多晶硅产品晶粒均匀、外观质量较好。 |
申请公布号 |
CN102249242A |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN201110160665.5 |
申请日期 |
2011.06.15 |
申请人 |
四川新光硅业科技有限责任公司 |
发明人 |
刘畅;王岭;张维;刘维 |
分类号 |
C01B33/035(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/035(2006.01)I |
代理机构 |
四川力久律师事务所 51221 |
代理人 |
刘雪莲;林辉轮 |
主权项 |
一种三氯氢硅汽化工艺,其特征在于包括以下步骤:(1)、精馏得到的高纯三氯氢硅液体经计量后进入蒸发器蒸发;(2)、步骤(1)蒸发得到的三氯氢硅气体与经计量后的高纯氢气在气体混合器混合,得到混合气。 |
地址 |
614000 四川省乐山市市中区车子镇乐高大道2号 |