混合气体供给系统、溅镀装置及溅镀方法

摘要

本发明涉及一种混合气体供给系统、包括该混合气体供给系统的溅镀装置及一种溅镀方法。该混合气体供给系统包括至少两个气体源、至少两个气体质量流量控制器、至少两个第一阀门、至少两个三通阀门、多个第二阀门、两个混合腔及两个第三阀门。每个气体源与一个第一阀门及一个气体质量流量控制器依次相连。每个气体质量流量控制器通过一个三通阀门选择性地与一个第二阀门及该两个混合腔中的一个混合腔依次相连。各混合腔设有出气口，该出气口由一个第三阀门开合。使用该溅镀方法可连续地溅镀多个层膜，节约大量时间。

主权项

一种混合气体供给系统，其包括至少两个气体源、至少两个气体质量流量控制器及至少两个第一阀门，每个气体源与一个第一阀门及一个气体质量流量控制器依次相连，其特征在于，该混合气体供给系统还包括至少两个三通阀门、多个第二阀门、两个混合腔及两个第三阀门，每个气体质量流量控制器通过一个三通阀门选择性地与一个第二阀门及该两个混合腔之一个混合腔依次相连，各混合腔设有出气口，该出气口由一个第三阀门开合。