发明名称 适应性度量取样方法
摘要
申请公布号 TWI352915 申请公布日期 2011.11.21
申请号 TW093122493 申请日期 2004.07.28
申请人 高級微裝置公司 美國 发明人 普迪A 马太
分类号 G06F19/00 主分类号 G06F19/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 一种适应性度量取样方法,包括下列步骤:产生多个度量取样规则;分配取样加权值给该多个度量取样规则之每一个度量取样规则;确认至少一个工件满足该多个度量取样规则中之至少一个度量取样规则;将各该满足之度量取样规则之该取样加权值与满足该规则之该确认之工件产生关联;以及当该取样加权值之累积总合至少等于预定之触发值时,指示应予执行度量操作。
地址 美国