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发明名称 Correcting Device to Compensate for Polarization Distribution Perturbations and Projection Objective for Microlithographic Projection Lens
摘要
申请公布号 KR101085737(B1) 申请公布日期 2011.11.21
申请号 KR20057025036 申请日期 2004.06.17
申请人 发明人
分类号 G02B5/30;G02B13/14;G02B17/08;G02B27/00;G02B27/28;G03F7/20 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
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