| 摘要 |
1. Тензорезистор для измерения деформаций и давления, включающий диэлектрическую подложку с нанесенным тензочувствительным слоем в виде поликристаллической пленки, содержащей сульфид самария, и металлическими контактными площадками, расположенными на одной поверхности пленки, с припаянными к ним токовыводами, отличающийся тем, что тензочувствительный слой выполнен с отверстиями, соединяющими контактные площадки, и имеет состав Sm1-xLnxS, где Ln - один из элементов: La, Се, Pr, Nd, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Lu, Y, при 0<x<0,3. ! 2. Тензорезистор для измерения деформаций и давления, включающий диэлектрическую подложку с нанесенным тензочувствительным слоем в виде поликристаллической пленки, содержащей сульфид самария, и металлическими контактными площадками, расположенными на одной поверхности пленки, с припаянными к ним токовыводами, отличающийся тем, что тензочувствительный слой выполнен с отверстиями, соединяющими контактные площадки, и имеет состав Sm1+zS, где 0<z≤0,17. |
