一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法

摘要

一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法。首先配制前驱液，把异丙醇铝和去离子水按照Al∶H2O＝1∶50-1∶100的摩尔比例混合，在80-90℃条件下用磁力搅拌器搅拌溶液，搅拌均匀后往溶液中滴加盐酸，调节PH值至2～4；再把溶液在80-90℃磁力搅拌器搅拌4-8h，得到透明的Al2O3凝胶；然后，将Al2O3凝胶涂覆在基片上；涂覆过薄膜的基片置于高温管式石英炉中，在300℃～500℃温度、惰性气氛下进行5-10h的低温热处理，即可得到非晶氧化铝薄膜。本发明制备的非晶氧化铝薄膜平整、致密。

主权项

一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)按照Al∶H2O＝1∶50 1∶100的摩尔比例把异丙醇铝和去离子水混合；(2)将上述步骤(1)配制的溶液在80 90℃条件下经磁力搅拌器搅拌1 3h；(3)在上述步骤(2)制得的溶液中添加盐酸，调节所述溶液的PH值至2 4；(4)将上述步骤(3)配制的溶液在80 90℃下经磁力搅拌器搅拌4 8h，得到透明的Al2O3凝胶；(5)将步骤(4)制得的所述Al2O3凝胶采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上；(6)将步骤(5)涂覆过薄膜的基片置于高温管式石英炉中，在300℃ 500℃温度下进行5 10h的低温热处理，即可得到非晶氧化铝薄膜；该步骤的升温速率为5℃/h；该步骤是在氩气或者氮气等惰性气氛中进行。