具有多重细激光束传输系统的激光加工系统和方法

摘要

在激光加工系统及方法中可使用多重细激光束传输系统(multiple beamlet laser beam delivery system)及方法，以在工件上同时加工多个区域。激光加工系统(laser machining system)及方法的一个实施例可用于，例如，在诸如太阳能面板(solar panel)等大的平整工件(workpiece)中划刻一或多条线。具体而言，激光加工系统及方法可以高精确度、高速度及低成本在薄膜光电(photovoltaic；PV)太阳能面板中划刻出线。这些多重光束传输系统可以是可移动的，以在工件中同时划刻多条线。

主权项

一种激光加工系统，包含：部件运送系统，包含工件支撑面，用以支撑欲加工的工件；至少一个激光源，用以产生至少一个激光束；至少一个激光扫描平台，相对于所述部件运送系统定位，以沿扫描轴线进行线性运动；光学头，位于所述激光扫描平台上，所述光学头包含光束传输系统，用以接收所述激光束并在移动的同时修改所述光束，所述光束传输系统包含：光束分光镜(beam splitter)，用以将所述激光束分成多个细光束；遮罩，用以提供开孔形状；以及成像光学系统(imaging optics)，用以将所述多个细光束引导至工件并用于将所述开孔形状成像于所述工件上。