扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构

摘要

本实用新型提供了一种扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构，它包括电机、联轴器、涡轮蜗杆减速机、传动轴、支撑架、底板、凸轮、碳化硅桨，其中电机、涡轮蜗杆减速机和支撑架均固定在底板上；电机的轴通过联轴器与涡轮蜗杆减速机相连，传动轴安装在两个支撑架上并可自由传动，涡轮蜗杆减速机与传动轴相连；凸轮固定在传动轴上，碳化硅桨设置在凸轮顶部，碳化硅桨一端连接在支撑架上并可绕其自由转动；它通过电机实现对推拉舟碳化硅桨俯仰角的精确控制，达到在有限的空间内完成对石英舟的送入、软着陆及退出的目的，不仅节省了扩散炉的设计成本和空间，而且使其性能得到极大的提高，解决了半导体硅片尺寸的不断增大与扩散炉有限体积之间的矛盾。

主权项

一种扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构，其特征在于它包括电机、联轴器、涡轮蜗杆减速机、传动轴、支撑架、底板、凸轮、碳化硅桨，其中电机、涡轮蜗杆减速机和支撑架均固定在底板上；电机的轴通过联轴器与涡轮蜗杆减速机相连，传动轴安装在两个支撑架上并可自由传动，涡轮蜗杆减速机与传动轴相连；凸轮固定在传动轴上，碳化硅桨设置在凸轮顶部，碳化硅桨一端连接在支撑架上并可绕其自由转动。