| 发明名称 | 具有顺服涂层的静电夹盘 | ||
| 摘要 | 本发明针对静电夹盘(ESC)，其具有以<img file="dda0000067159770000011.GIF" wi="225" he="56" />形成的顺服层；以及针对用于形成ESC的夹箝板的方法。该ESC包括具有低摩擦表面的顺服层，以减少或消除由于热膨胀所产生的颗粒。该方法包括形成用于基板的夹箝元件，其包括陶瓷材料和陶瓷表面，以及以包括有机硅化物或<img file="dda0000067159770000012.GIF" wi="225" he="56" />的顺服层来涂覆陶瓷表面。 | ||
| 申请公布号 | CN102246288A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN200980149401.0 | 申请日期 | 2009.12.10 |
| 申请人 | 艾克塞利斯科技公司 | 发明人 | 阿施文·普鲁黑特;威廉·D·李;马文·拉封丹;理查德·泽祖特 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李敬文 |
| 主权项 | 一种静电夹盘，用于夹箝基板和控制相关联的热传递，该静电夹盘包括：陶瓷元件，包括陶瓷表面；以及顺服层，包括低摩擦表面，所述低摩擦表面覆盖陶瓷表面并提供用于夹箝基板的夹箝表面。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||