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发明名称 APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE WITH PLASMA
摘要
申请公布号 KR101083587(B1) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 KR20100020574 申请日期 2010.03.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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