| 发明名称 | 一种用于汽化四氯化硅的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于汽化四氯化硅的方法，其具有工艺维护成本低和工艺效率高的特点。所述方法包括：a)使液体四氯化硅进料(1)进入第一立式容器(3)；b)使其经由液相连通管(5)进入第二立式容器(7)，其中容器(7)与容器(3)构成连通器，且连通管(5)在容器(7)内的开口端高于容器(7)的底部；和c)通过容器(7)内的加热装置(8)加热液体四氯化硅而汽化，其中加热装置(8)的最低端高于连通管(5)的开口端。 | ||
| 申请公布号 | CN101767788B | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN200910150559.1 | 申请日期 | 2009.06.18 |
| 申请人 | 江苏中能硅业科技发展有限公司 | 发明人 | 唐雨东;张佳伟;陈利群;迟伯成;冯学明;李鹏;满慈皊;郭晓晖;陈文龙 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/107(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 孙秀武;王刚 |
| 主权项 | 一种用于汽化四氯化硅的方法，其包括：a)使液体四氯化硅进料(1)进入第一立式容器(3)的步骤；b)使所述液体四氯化硅进料(1)从所述第一立式容器(3)的底部经由液相连通管(5)进入第二立式容器(7)的步骤，其中所述第二立式容器(7)与所述第一立式容器(3)按照形成连通器的方式至少经由所述液相连通管(5)彼此连通，从而所述第二立式容器(7)内的液面与所述第一立式容器(3)内的液面总是保持相互持平，而且所述液相连通管(5)在所述第二立式容器(7)内的开口端的位置高于所述第二立式容器(7)的底部；和c)通过在所述第二立式容器(7)内部设置的加热装置(8)加热所述液体四氯化硅进料(1)而生成汽化的四氯化硅的步骤，其中所述加热装置(8)的最低端高于所述液相连通管(5)在所述第二立式容器(7)内的所述开口端的位置，其中所述第一立式容器(3)的内部空间被所述第一立式容器(3)内的所述液面分隔为液相区和处于该液相区之上的顶空区，所述第二立式容器(7)的内部空间被所述第二立式容器(7)内的所述液面分隔为液相区和处于该液相区之上的顶空区，并且所述第一立式容器(3)的所述顶空区与所述第二立式容器(7)的所述顶空区经由气相连通管(6)彼此连通，而所述第二立式容器(7)的所述液相区与所述第一立式容器(3)的所述液相区经由所述液相连通管(5)彼此连通，在所述步骤c)中，所述汽化的四氯化硅经由所述气相连通管(6)进入所述第一立式容器(3)的所述顶空区，并作为最终产品(12)从位于所述第一立式容器(3)顶部的产品出口管(11)排出，并且在所述步骤a)中，所述液体四氯化硅进料(1)通过进料管线(2)进入所述第一立式容器(3)，并且所述进料管线(2)在所述第一立式容器(3)内的开口端位于所述第一立式容器(3)内的所述液面之下。 | ||
| 地址 | 221001 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号 | ||