| 摘要 |
<p>2원소 이상의 조성을 갖는 다성분 박막을 증착할 수 있는 원자층 증착장치가 개시된다. 다성분 박막의 증착을 위한 원자층 증착장치는, 다수의 기판 상부에 구비되어 서로 다른 전구체를 포함하는 서로 다른 2종류 이상의 소스가스를 각각 분사하는 다수의 분사부가 구비된 가스분사 유닛 및 상기 가스분사 유닛에서 상기 각 분사부의 경계에 구비되어 상기 분사부를 분리시키고, 상기 기판에 퍼지가스를 제공하는 퍼지부와 상기 기판에서 배기가스를 흡입하여 배출시키는 배기부가 구비되며 상기 퍼지부와 상기 배기부는 인접하여 구비된 분리모듈을 포함하여 구성될 수 있다.</p> |
