| 摘要 |
다색 노광에 적합한 FPD용 대형 마스크 및 마스크 블랭크를 제공한다. 투광성 기판 상에, 투과량을 조정하는 기능을 갖는 그레이톤 마스크용 반투광성막을 적어도 갖는 FPD 디바이스를 제조하기 위한 마스크 블랭크로서, 상기 그레이톤 마스크용 반투광성막은, 초고압 수은등으로부터 방사되는 적어도 i선 내지 g선에 걸치는 파장 대역에서, 반투광성막의 투과율(즉 반투과율)의 변동 폭이 5% 미만의 범위 내로 되도록 제어된 막인 것을 특징으로 한다. |
