| 主权项 |
一种测试装置，对被测试元件进行测试，包括：信号生成部，生成应输入至上述被测试元件的测试信号；驱动器，将上述测试信号输出至上述被测试元件的输入输出接脚；比较器，连接于上述驱动器的输出端及上述被测试元件的上述输入输出接脚，以检测所赋予的信号；判定部，根据上述比较器检测出的上述被测试元件的输出信号，来判定上述被测试元件的良否；以及响应测量装置，检测上述比较器中的对信号的上升边缘的响应时间与对下降边缘的响应时间的差；上述响应测量装置包括：驱动器控制部，于上述驱动器的输出端及上述比较器的输入端经由具有规定的传播延迟的传送路径而终止于规定电位的状态下，使上述驱动器输出具有上升边缘以及下降边缘的输出波形；以及差分计算部，根据上述比较器分别检测出上述输出波形的上升边缘、上述输出波形被终端反射后形成的反射波形的下降边缘、上述输出波形的下降边缘、以及上述输出波形被终端反射后形成的反射波形的上升边缘的时刻，来计算出上述响应时间的差。 |
