发明名称 具有套筒的清洗刷以及可和此清洗刷一同使用的刷心轴
摘要
申请公布号 TWI351991 申请公布日期 2011.11.11
申请号 TW096107918 申请日期 2007.03.07
申请人 應用材料股份有限公司 美國 发明人 陈辉;土西巴威谢希拉L;高桥英志;富田敏一;藤川孝
分类号 B08B1/04;B08B1/00 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种用于组装一清洗刷组件之方法,包括以下步骤:提供一形成于一套筒上之清洗刷;将一心轴(mandrel)置入该套筒中,以形成该清洗刷组件;以及于该套筒之一外表面上提供复数个耦接特征结构(feature),其适以防止该套筒相对于该清洗刷旋转。
地址 美国