用于半导体装置实验流程和生产流程之整合式组态、流程与执行系统

主权项

一种产生用于制造执行系统的结合之流程的方法，包含：参照第一预先存在的流程区块及第二预先存在的流程区块；结合该第一预先存在的流程区块之部份流程以及该第二预先存在的流程区块之部份流程至半导体装置处理未来流程计划，同时维持对该第一预先存在的流程区块及该第二预先存在的流程区块之该参照；建立待决批次计划以处理一批次的晶圆，该待决批次计划系根据结合的该未来流程计划的区块；执行该待决批次计划之一部份以处理一批次的晶圆；以及产生包含该待决批次计划之未执行部分的现行批次计划。