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发明名称
Wafer transferring robot Arm
摘要
<p>본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로, 그 구성은 로봇암 일측 단부에서 연장되게 구비되어 웨이퍼가 안치될 수 있게 하는 안치대; 상기 안치대 일측 상부에 구비되며 일측이 웨이퍼 외주와 동일한 형태로 곡선진 블록; 상기 블록의 곡선진 위치에 구비되어 상기 웨이퍼를 지지한 상태로 안치대에 웨이퍼를 정렬되게 하는 안내수단;을 포함하여 이루어진다.</p>
申请公布号
KR101082605(B1)
申请公布日期
2011.11.10
申请号
KR20110074679
申请日期
2011.07.27
申请人
发明人
分类号
B25J15/08;B65G49/07;H01L21/677
主分类号
B25J15/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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