一种利用超临界水剥离SU-8光刻胶的装置及方法

摘要

本发明公开了一种利用超临界水剥离SU-8光刻胶的装置及方法。该装置包括储水罐；一个高压泵，高压泵将去离子水注入压载箱，压载箱出口经溢流阀和喷嘴与反应釜连通，反应釜出口与溢流阀连接，从溢流阀出来的反应物流入尾气处理装置；反应釜底部有排液管，经过滤纯化器与储水罐相连，实现水的循环利用。该装置及其方法操作简单，去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保、无需干燥，而且不会腐蚀下层的硅，造成硅的损耗。

主权项

一种利用超临界水剥离SU‑8光刻胶的装置，其特征在于，包括：一个装有去离子水的储水罐(1)和一个提供高纯氧气的氧气罐(2)；一个混合罐(7)，其入口同时连接于储水罐(1)和氧气罐(2)，出口连接于高压泵(8)；一个高压泵(8)，其出口通过第三流量控制阀(9)连接于压载箱(10)；一个压载箱(10)，其外部接有电加热装置(11)，出口管路上通过第一溢流阀(12)连接至反应釜(13)，第一溢流阀(12)出口接到反应釜(13)内壁的喷嘴(23)上；一个反应釜(13)，其外部接有电加热装置(11)，出口接有第二溢流阀(14)；一个第二溢流阀(14)和一个尾气处理装置(15)，第二溢流阀(14)的一端接到反应釜(13)的出口管路上，另一端接入尾气处理装置(15)；一水循环使用系统，包括：连接到反应釜(13)底部排液口的阀门(16)，其另一端接有增压泵(17)，增压泵(17)的出口是一个缓冲罐(18)，从缓冲罐(18)中出来的水流入净化罐(19)中，再经纯化装置(20)流入储水罐(1)中；一个喷嘴(23)，进口连接到反应釜(13)内壁的入口上，一个夹盘(26)固定在反应釜(13)内，在反应釜(13)内壁上还有一个N2源(24)的进口。