| 发明名称 | 用于在光伏模块基板上高速率沉积薄膜层的模块化系统 | ||
| 摘要 | 本申请涉及用于在光伏模块基板上高速率沉积薄膜层的模块化系统。其中，一种用于在光伏(PV)模块基板(12)上沉积多个薄膜层的系统(100)和相关方法包括第一加工侧(102)，其中基板在第一方向(103)上被输送以在基板上沉积第一薄膜层。第二加工侧(110)相对于该第一加工侧可操作地安置，使得离开第一加工侧的基板随后在第二方向(111)上被输送穿过第二加工侧，以在该第一薄膜层上沉积第二薄膜层。第一转移站(118)可操作地安置在第一加工侧与第二加工侧之间，以从第一加工侧的出口(108)接收基板且将基板引入到第二加工侧的入口(114)内，使得基板连续移动穿过第一加工侧和第二加工侧以在其上沉积多个薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN102234773A | 申请公布日期 | 2011.11.09 |
| 申请号 | CN201110112895.4 | 申请日期 | 2011.04.21 |
| 申请人 | 初星太阳能公司 | 发明人 | R·W·布莱克;B·R·墨菲 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 周心志;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种用于在光伏(PV)模块基板(12)上沉积多个薄膜层的系统(100)，包括：第一加工侧(102)，其中，所述基板在第一方向(103)上被输送，所述第一加工侧还包括加工站(104)，所述加工站(104)被构造成在所述基板上沉积第一薄膜层；第二加工侧(110)，其相对于所述第一加工侧可操作地安置，使得离开所述第一加工侧的基板随后在第二方向(111)上被输送穿过所述第二加工侧，所述第二加工侧还包括加工站(112)，所述加工站(112)被构造成在所述第一薄膜层上沉积第二薄膜层；以及第一转移站(118)，其可操作地安置在所述第一加工侧与所述第二加工侧之间，以从所述第一加工侧的出口(108)接收所述基板且将所述基板引入到所述第二加工侧的入口(114)内；其中，所述基板被连续地移动穿过所述第一加工侧和第二加工侧，以在其上沉积多个薄膜层。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||