衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置

摘要

本发明公开一种衬底移送轴用支撑块及利用该支撑块的衬底移送装置。在本发明中，用于向支撑衬底移送轴的轴承供给润滑液的通道被埋设在衬底移送轴用支撑块的内部，从而不必另设外部润滑油供给管，因此改善了其美观性，且更容易维护及维修衬底移送装置。并且，独立的个体单位支撑块根据相互连接的结构而形成衬底移送框架时，相对于独立的一体结构的现有技术，不仅在形成润滑液供给线等的加工及制造方面非常有利，而且在搬运和保管及现场设置也变得更加容易。

主权项

一种衬底移送轴用支撑块，其包含主体和封盖，所述主体支撑一个衬底移送轴，所述主体包含：轴承安装槽，以用于安装可旋转地支撑衬底移送轴的轴承；沿着所述衬底移送轴的排列方向贯通形成的润滑液供给通道，以用于从外部供给润滑液；分支通道，以用于将所述润滑液供给通道连通至所述轴承安装槽；润滑液排出口，以用于从所述轴承安装槽排出润滑液；分别在沿着所述衬底移送轴的排列方向的两端部形成的结合部，所述封盖用于在轴承安装于所述轴承安装槽的状态下与所述主体结合而盖住轴承安装槽，所述润滑液排出口位于相对所述轴承安装槽更低的位置。