薄膜层光伏模块制品的处理

摘要

一般提供用于碲化镉薄膜光伏器件10的处理的系统和过程。该系统可以包括处理系统100和传送系统110。该处理系统100包括预热部分102、处理腔104和退火炉106，其在该处理系统100内一体式地互连。该传送系统110可操作地设置在该处理系统100内并且配置用于采用连续设置以可控速度将衬底12运输进入和通过预热部分102，进入和通过处理腔104，以及进入和通过退火炉106。处理腔104配置用于施加材料到衬底12的表面上的薄膜，并且退火炉106配置成当衬底12由传送系统110连续传送通过处理腔104时加热衬底12到退火温度。

主权项

一种用于碲化镉薄膜光伏器件(10)的处理的设备，所述设备包括：处理系统(100)，其包括预热部分(102)、处理腔(104)和退火炉(106)，其中所述预热部分(102)、所述处理腔(104)和所述退火炉(106)在所述处理系统(100)内一体式互连；以及传送系统(110)，其可操作地设置在所述处理系统(100)内并且配置用于采用连续设置以可控速度将衬底(12)运输进入和通过所述预热部分(102)、进入和通过所述处理腔(104)以及进入和通过所述退火炉(106)，其中所述处理腔(104)配置用于施加材料到所述衬底(12)上的薄膜，并且所述退火炉(106)配置成当所述衬底(12)由所述传送系统(110)连续传送通过所述处理腔(104)时加热所述衬底到退火温度。