一种平面结构闪耀光栅

摘要

一种平面结构闪耀光栅，其包括上表面金属结构层、介质层和金属底板层，从上至下依次相叠，上表面金属结构层由周期排列的金属单元结构组成，其每一个金属结构单元与其下方的介质和金属底板构成了一个光学微腔，与入射光形成磁谐振。相邻光学微腔(及之间的间距)可以相同或者不同。金属底板上表面需经过抛光处理，其表面粗糙度不应大于工作波长的十分之一，介质层为由金属底板层的上表面镀一层均匀介质膜形成，介质层上表面通过磁控溅射再镀一层金属薄膜，上表面金属结构层通过在该层金属薄膜光刻、电子束刻蚀方法制作。本发明一级衍射效率在红外、太赫兹波段高达100％，可见光波段金属有光吸收，也可达到90％以上，且结构简单，制作方便。

主权项

一种平面结构闪耀光栅，其特征在于：其包括上表面金属结构层、介质层和金属底板层，从上至下依次相叠，上表面金属结构层的每一个金属结构单元与其下方的介质和金属底板构成了一个光学微腔，与入射光形成磁谐振。