液体排出头及其制造方法

摘要

本发明公开了液体排出头及其制造方法，该液体排出头包括与液体排出设备电连接的电触点；第一半导体基板，具有用于产生用于排出液体的能量的能量产生元件，以及包括第一晶体管并且被配置用于驱动所述能量产生元件的驱动器单元；以及第二半导体基板，具有接收单元和展开单元，所述接收单元被配置为具有第二晶体管并且接收经所述电触点串行传输的信号，所述展开单元被配置为具有第三晶体管并且并行转换在所述接收单元中接收到的信号以产生用于控制所述驱动器单元的信号，其中第一晶体管中的栅极氧化物膜比第二晶体管中的栅极氧化物膜和第三晶体管中的栅极氧化物膜厚。

主权项

一种液体排出头，包括：与液体排出设备电连接的电触点；第一半导体基板，包括用于产生用于排出液体的能量的能量产生元件，以及驱动器单元，所述驱动器单元具有第一晶体管并且被配置用于驱动所述能量产生元件；以及第二半导体基板，包括接收单元和展开单元，所述接收单元被配置为具有第二晶体管并且接收经由所述电触点串行传输的信号，所述展开单元被配置为具有第三晶体管并且并行转换在所述接收单元中接收到的信号以产生用于控制所述驱动器单元的信号，其中第一晶体管中的栅极氧化物膜比第二晶体管中的栅极氧化物膜以及第三晶体管中的栅极氧化物膜厚。