发明名称 用于薄膜太阳能电池制造的镀膜方法
摘要 本发明公开了一种用于薄膜太阳能电池制造的镀膜方法。方法中利用一遮蔽物来遮盖太阳能电池基板的非镀覆区以避免薄膜于其上生成,并于镀膜完成后移除该遮蔽物。具体方法包含下列步骤:准备一欲进行镀膜的基板;在该基板工艺面上的非镀覆区覆上金属遮蔽物;进行镀膜工艺;及将该金属遮蔽物自完成镀膜的该基板上移除。
申请公布号 CN102234759A 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN201010170528.5 申请日期 2010.04.29
申请人 亚洲太阳科技有限公司 发明人 张一熙
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 韩蕾
主权项 一种用于薄膜太阳能电池制造的镀膜方法,该方法包含下列步骤:准备一欲进行镀膜的基板;在该基板工艺面上的非镀覆区覆上金属遮蔽物;进行镀膜工艺;及将该金属遮蔽物自完成镀膜的该基板上移除。
地址 中国香港九龙旺角弥敦道582-592号信和中心804室