一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法

摘要

本发明涉及一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法，其特征在于包括以下步骤：废切削液经常温下搅拌后，分离得固体和液体；固体加入纯水搅拌，打碎，加入碱液进行反应，再进入离心分离装置，得到碳化硅液流；加入酸液进行反应，再进入离心分离装置，得到干净的碳化硅液流。经过清洗后，进入烘干机，烘干，风力分级，筛选后包装。固液分离后的液体部分，加入脱色剂和助滤剂，进入机械分离，分离出的液体中再次加入脱色剂和助滤剂，进行机械分离，经过离子交换系统过滤脱去盐分后，经四效蒸发系统脱去水分，即得到聚乙二醇切削液；本发明避免了硅片切削废液直接排放对环境造成的污染，同时还有效降低了硅片切割时的生产成本。

主权项

一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法，包括以下步骤：1)、将硅片切削废液搅拌均匀，控制其温度在25‑60℃，于废液中加入水，水加入的比例为切削废液总质量的1‑60％，接着于0.5‑6bar压力下进行固液分离，得到固体和液体；2)、于步骤1)得到的固体中，加入质量为固体质量的1‑5倍的10‑60℃水，搅拌后，过滤除去水分，得到的固体在常温下加入浓度为0.5‑30％碱液，反应0.5‑4小时后，进行分离，得到硅酸钠和含有杂质的碳化硅；3)、将步骤2)得到的含有杂质的碳化硅，在10‑60℃的温度下，加入浓度为0.5‑30％的无机酸，反应0.5‑4小时后，进行分离，得到含水率10‑80％的碳化硅流；4)将步骤3)得到的含水率10‑80％的碳化硅流真空过滤后，利用10‑60℃的水洗涤碳化硅，洗涤后的滤饼含水量在5‑30％；如此重复3次，得到的洗涤后的滤饼含水量在5‑30％；5)将步骤4)得到的碳化硅滤饼于80‑110℃条件下，进行脱水，脱水3‑10小时后，得到碳化硅含水率低于0.1％的粉末；将碳化硅粉末过筛，筛除大颗粒物质后即得成品碳化硅微粉；6)、将步骤1)得到的液体，控制在温度25‑60℃的条件下，于液体中加入脱色剂和助滤剂，进行固液分离，得到固体和液体；同等条件，将分离得到的液体再次脱色过滤后，进行固液分离，分离得到的液体通过过滤器，滤液在20‑35℃下通过离子交换系统，进行阴阳离子的吸附和交换，得到的聚乙二醇切削液含水量在质量百分数60‑80％，电导率在0.1‑30μs/cm；7)、将步骤6)经过离子交换的聚乙二醇切削液，于70‑135℃，0.01‑0.09MPa真空度下蒸发，蒸发后的聚乙二醇切削液中的水含量在5‑35％；接着于70‑135℃，0.01‑0.09MPa真空度条件下进行蒸发，用以去除切削液中的水分和其他低沸物，在水分含量在0.1‑0.9％时，灌装即得成品聚乙二醇切削液。