发明名称 LOADER FOR TEST HANDLER AND TEST HANDLER
摘要 <p>본 발명은 테스트핸들러에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 챔버 내부에서 캐리어보드를 이동시키기 위해 구비되는 적재장치가 이동할 시에 캐리어보드의 부분 이탈 등을 방지하기 위해 캐리어보드를 고정할 수 있는 기능을 가짐으로써 안정적으로 캐리어보드를 이동시킬 수 있는 기술이 개시된다.</p>
申请公布号 KR101080189(B1) 申请公布日期 2011.11.07
申请号 KR20090074513 申请日期 2009.08.13
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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