| 摘要 |
<p>본 발명은 연마 패드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 피연마 대상의 표면과 접촉하여 이동함으로써 연마 공정을 수행하는 연마 패드는, 상기 연마패드는 연마층을 포함하여 구성되고, 상기 연마층은 폴리알킬렌글리콜을 함유하는 친수성 폴리머 매트릭스(이하 '폴리알킬렌글리콜 함유 친수성 폴리머 매트릭스'라 함)와, 상기 폴리알킬렌글리콜 함유 친수성 폴리머 매트릭스 내의 일정 영역을 차지하는 액상 미소요소들을 포함하여 구성되며, 상기 연마층 표면에는 상기 액상 미소요소들의 누출에 의해 개방되는 기공들이 분포하는 것을 특징으로 한다.</p> |
