发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110120274(A) 申请公布日期 2011.11.03
申请号 KR20117016491 申请日期 2010.03.08
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TAKADA TOMOYUKI;HATA MASAHIKO;YAMANAKA SADANORI
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址