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发明名称 RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP2270595(A4) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20090719344 申请日期 2009.03.09
申请人 NAGASE CHEMTEX CORPORATION 发明人 TAKEDA, TAKASHI;KOTANI, NORIHISA
分类号 G03F7/023;G03F7/038;G03F7/40;H01L51/00;H05B33/12;H05B33/22 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
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