| 发明名称 | 压电/电致伸缩膜式传感器 | ||
| 摘要 | 在于压电/电致伸缩体(5)的表面附近，具有端子电极(18，19)的压电/电致伸缩膜式传感器(20)中难以带静电，由此，防止静电破坏，不引诱尘埃，灰尘等。 | ||
| 申请公布号 | CN101484789B | 申请公布日期 | 2011.11.02 |
| 申请号 | CN200780025062.6 | 申请日期 | 2007.07.04 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 大西孝生;清水秀树;小泉贵昭 |
| 分类号 | G01N11/14(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I | 主分类号 | G01N11/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 一种压电/电致伸缩膜式传感器，其包括：陶瓷基体，其具有薄壁隔膜部，与成一体地设置于该薄壁隔膜部的周缘的厚壁部，通过该薄壁隔膜部和厚壁部，形成与外部连通的空洞；压电/电致伸缩元件，其包括具有设置于该陶瓷基体的上述薄壁隔膜部的外表面上的，膜状的压电/电致伸缩体，和夹持该压电/电致伸缩体的底部电极和顶部电极的叠置结构；用于将上述底部电极和顶部电极与电源连接的相应的端子电极；伴随上述压电/电致伸缩元件的驱动，上述陶瓷基体的薄壁隔膜部振动；在上述压电/电致伸缩体的表面附近，具有上述端子电极的主成分。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||