一种三自由度压电驱动平台

摘要

本发明公开一种三自由度压电驱动平台，包括底座、长梁、至少两个压电定子、上导轨、中导轨和下导轨；下导轨设于底座上，中导轨可横向滑动地设于下导轨的上方，上导轨则可纵向滑动地设于中导轨的上方；长梁固定于底座的上方，压电定子的顶端与长梁固定，底端与上导轨的顶面接触；所述压电定子包括长螺栓、上压块、四个弯振压电陶瓷片、两个分半式电极片、三个电极片、两个纵振压电陶瓷片和下压块，长螺栓仅与第一、二、三电极片的穿孔处接触，使上压块、下压块与地接通，其余各分半式电极片、压电陶瓷片的穿孔处均不与长螺栓接触。此种驱动平台可提高平台定位精度。

主权项

一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括底座、长梁、至少两个压电定子、上导轨、中导轨和下导轨；下导轨设于底座上，中导轨可横向滑动地设于下导轨的上方，上导轨则可纵向滑动地设于中导轨的上方；长梁固定于底座的上方，压电定子的顶端与长梁固定，底端与上导轨的顶面接触；所述压电定子包括一根长螺栓、一个上压块、第一、二、三、四弯振压电陶瓷片、第一、二分半式电极片、第一、二、三电极片、第一、二纵振压电陶瓷片和一个下压块，长螺栓从上到下依次穿接上压块、第一弯振压电陶瓷片、第一分半式电极片、第二弯振压电陶瓷片、第一电极片、第三弯振压电陶瓷片、第二分半式电极片、第四弯振压电陶瓷片、第二电极片、第一纵振压电陶瓷片、第三电极片、第二纵振压电陶瓷片和下压块，且长螺栓仅与第一、二、三电极片的穿孔处接触，使上压块、下压块与地接通，其余各分半式电极片、压电陶瓷片的穿孔处均不与长螺栓接触；第一、二弯振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，第三、四弯振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，第一、二纵振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，其中一组用于激励振子的纵向振动，另外两组分别用于激励振子相互垂直方位的弯曲振动；当纵向振动和一组弯曲振动模态相叠加实现一个面内质点的椭圆运动，而纵向振动和另一组弯曲振动模态相叠加实现另一个面内质点的椭圆运动。