真空电子束焊接方法

摘要

一种真空电子束焊接方法，包括如下步骤：提供靶材坯料和用于支撑靶材坯料的背板；进行焊接准备；进行预热；采用真空电子束进行真空焊接，将靶材坯料焊接至背板上；还包括在真空焊接之后直接进行表面修饰步骤。本发明通过在进行真空焊接之后直接进行表面修饰，无需真空保温或者放入空气进行降温，避免了后续抽吸真空的步骤，加快了产品循环周期，同时降低溅射靶材坯料焊接后的气孔率。

主权项

一种真空电子束焊接方法，包括如下步骤：提供靶材坯料和用于支撑靶材坯料的背板；进行焊接准备；采用真空电子束进行真空焊接，将靶材坯料焊接至背板上；其特征在于，还包括在真空焊接之后直接进行表面修饰，所述表面修饰为三次，第一、二次表面修饰工艺条件相同，第三次表面修饰的电子束的焦距为第一、二次表面修饰工艺中的焦距的±10％。