发明名称 一种生产线设备的监控方法及系统
摘要 本发明公开了一种生产线设备的监控方法及系统,其中所述方法包括当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时,开启监控线程执行以下操作:获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间;判断在预设的时间范围内,当前目标状态参数是否发生变化;若否,则触发报警。本发明可以尽可能客观地捕捉生产线设备的实际情况,并节省系统资源。
申请公布号 CN101694580B 申请公布日期 2011.11.02
申请号 CN200910235581.6 申请日期 2009.09.29
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 马平
分类号 G05B19/048(2006.01)I 主分类号 G05B19/048(2006.01)I
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人 苏培华
主权项 一种生产线设备的监控方法,其特征在于,包括:当检测到所述生产线设备的目标状态参数发生异常时,开启监控线程执行以下操作:步骤S12、获得所述目标状态参数的异常值及异常发生时间;步骤S14、判断在预设的时间范围内,当前目标状态参数是否发生变化;若否,则执行步骤S16;若是,则执行步骤S18;步骤S16、触发报警;步骤S18、获得所述目标状态参数的变化值及变化发生时间;步骤S20、判断所述变化值是否在目标状态参数的正常范围内,若是,则执行步骤S22;若否,则执行步骤S24;步骤S22、关闭所述监控线程;步骤S24、依据连续两次异常发生时间的差值,缩短所述预设的时间范围,并返回所述步骤S14。
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