发明名称 Layer system for creating a surface layer on a surface of a substrate, vaporisation source for manufacturing a layer system
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, insbesondere auf der Oberfläche eines Werkzeugs, wobei das Schichtsystem mindestens eine erste Hartschicht der Zusammensetzung (M&lt;Sub&gt;o&lt;/Sub&gt;Si&lt;Sub&gt;p&lt;/Sub&gt;AY&lt;Sub&gt;q&lt;/Sub&gt;)γ(N&lt;Sub&gt;r&lt;/Sub&gt;C&lt;Sub&gt;s&lt;/Sub&gt;O&lt;Sub&gt;t&lt;/Sub&gt;)&lt;Sub&gt;δ&lt;/Sub&gt; umfasst, mit (o+p+q) = γ, (r+s+t) = δ, und (γ+δ) =100, wobei 40 ≤ γ ≤ 60 gilt, und wobei M mindestens ein Metall aus der Gruppe der chemischen Elemente bestehend aus Al und den Elementen aus den Nebengruppen IVb, Vb, Vlb des Periodensystems der Elemente ist. Erfindungsgemäss ist die Komponente AY mindestens ein Element aus der Gruppe der chemischen Elemente bestehend aus Mn, Fe, Co, Ni, Cu und den Elementen der Nebengruppe IIIB und den Elementen der Hauptgruppe IA, IIA, IIIA und den Elementen der Gruppe der Lanthanoide des Periodensystems der chemischen Elemente ist, wobei AY bevorzugt zusätzlich Bor enthält.</p>
申请公布号 EP2351870(A3) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20110163810 申请日期 2008.05.30
申请人 SULZER METAPLAS GMBH 发明人 VETTER, JOERG, DR.;ERKENS, GEORG, DR.
分类号 C23C14/00;C23C14/06 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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