发明名称 |
一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置 |
摘要 |
本发明提供了一种工艺过程参数的可视化处理方法,包括:针对已建立通信连接的多个工艺模块,建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程;所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启,所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启;所述工艺过程参数接收线程用于判断工艺模块是否处于工艺运行状态,若是,则获取所述工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区;接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求;依据所述请求,激活当前工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程,对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。本发明能够在占用少量系统资源的情况下同时可视化处理多个工艺模块,还能够扩大工艺模块的显示区域。 |
申请公布号 |
CN101539773B |
申请公布日期 |
2011.11.02 |
申请号 |
CN200910082770.4 |
申请日期 |
2009.04.29 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
梁小祎 |
分类号 |
G05B19/418(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/418(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
苏培华 |
主权项 |
一种工艺过程参数的可视化处理方法,其特征在于,包括:针对已建立通信连接的多个工艺模块,建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程;所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启,所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启;所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态,若是,则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区;接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求;依据所述请求,激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程,对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 |