| 摘要 |
<p>다수의 연속형 굴림쇠(2)로 된 반송라인(1)의 아래쪽에는 온도조정 수단(3)을 배치하고 있다. 온도조정 수단(3)은 연속형 굴림쇠(2)와 굴림쇠(2) 사이에 배치되는 2개의 온도조정 액체 분출노즐(4)와 이 노즐(4)에 온도조정된 액체(현상액 또는 물)를 공급하는 칠러(5)로 된다. 온도조정 액체 분출노즐(4)의 윗면에는 유리기판(W)의 이면을 향해 온도조정 액체를 분출하는 슬릿(4a)가 형성되고, 이 슬릿(4a)의 길이는 유리기판(W)의 폭과 거의 동일하게 설정되어 있다.</p> |
