| 摘要 |
<p>본 발명의 프로브 카드의 기울기 조정 방법은 프로브 장치(10)에 프로브 카드(12)를 장착한 후, 이동 가능한 웨이퍼 척(11)의 탑재면과 프로브 카드(12)를 평행하게 하기 위해, 프로브 카드(12)의 기울기를 조정할 때에, 침끝 위치 검출 장치(16)를 이용해서 프로브 카드(12)의 복수 개소에서 복수의 프로브(12A)의 평균 침끝 높이를 검출하는 제 1 공정과, 복수 개소 각각의 복수의 프로브(12A)의 평균 침끝 높이의 고저차에 의거하여 웨이퍼 척(11)에 대한 프로브 카드(12)의 기울기를 구하는 제 2 공정과, 프로브 카드(12)의 기울기를 조정하는 제 3 공정을 구비하고 있다.</p> |
