发明名称 GATE VALVE ASSEMBLY AND WATER PROCESSING SYSTEM HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110118243(A) 申请公布日期 2011.10.31
申请号 KR20100037735 申请日期 2010.04.23
申请人 NEW POWER PLASMA CO., LTD. 发明人 CHOI, DAI KYU
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址