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发明名称
Idle roller device for substrate transferring
摘要
<p>상기와 같이 구성된 본 발명은, 종래의 아이들 롤러 장치에 비해 그 구조와 구성이 간단하고 기판 건조 장비에서의 설치 작업이 단순화됨으로써 생산성과 작업성이 향상되는 효과가 있으며, 소요 비용도 절감할 수 있는 효과가 있다.</p>
申请公布号
KR101077485(B1)
申请公布日期
2011.10.27
申请号
KR20080135250
申请日期
2008.12.29
申请人
发明人
分类号
B65G49/06;G02F1/13;H01L21/67
主分类号
B65G49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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