发明名称 |
半导体基板、电子器件、及半导体基板的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种半导体基板,其包括:底板基板;设置在底板基板上的晶种;设置于晶种上方的化合物半导体;和设置于晶种和化合物半导体之间、具有比晶种大的电阻率的高电阻层,晶种和化合物半导体晶格匹配或者准晶格匹配。 |
申请公布号 |
CN102227801A |
申请公布日期 |
2011.10.26 |
申请号 |
CN200980147259.6 |
申请日期 |
2009.11.26 |
申请人 |
住友化学株式会社 |
发明人 |
山中贞则;秦雅彦;高田朋幸 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/8222(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L21/8248(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L27/08(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种半导体基板,其特征在于,包括:底板基板;设置在所述底板基板上的晶种;设置于所述晶种上方的化合物半导体;和设置于所述晶种和所述化合物半导体之间、具有比所述晶种大的电阻率的高电阻层,其中,所述晶种和所述化合物半导体晶格匹配或者准晶格匹配。 |
地址 |
日本国东京都 |