发明名称 半导体基板、电子器件、及半导体基板的制造方法
摘要 本发明提供一种半导体基板,其包括:底板基板;设置在底板基板上的晶种;设置于晶种上方的化合物半导体;和设置于晶种和化合物半导体之间、具有比晶种大的电阻率的高电阻层,晶种和化合物半导体晶格匹配或者准晶格匹配。
申请公布号 CN102227801A 申请公布日期 2011.10.26
申请号 CN200980147259.6 申请日期 2009.11.26
申请人 住友化学株式会社 发明人 山中贞则;秦雅彦;高田朋幸
分类号 H01L21/20(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/8222(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L21/8248(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I;H01L27/08(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I 主分类号 H01L21/20(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 蒋亭
主权项 一种半导体基板,其特征在于,包括:底板基板;设置在所述底板基板上的晶种;设置于所述晶种上方的化合物半导体;和设置于所述晶种和所述化合物半导体之间、具有比所述晶种大的电阻率的高电阻层,其中,所述晶种和所述化合物半导体晶格匹配或者准晶格匹配。
地址 日本国东京都