单晶炉二次加料装置

摘要

本实用新型涉及单晶炉制造设备，具体是一种单晶炉二次加料装置。它包括单晶炉、设置在单晶炉内的石英坩埚，单晶炉内石英坩埚的上方设有加料筒，加料筒的顶端通过法兰盘设置在炉口上，加料筒中心处设有套管；吊杆自上而下贯穿于套管并通到加料筒底部；吊杆底部设置有与加料筒相配合的托碗；托碗的顶面为锥形面；单晶炉炉口处设置有控制吊杆升降的升降装置。采用这样的结构后，由于加料筒内能够放置硅料增加了单晶炉的投料量；手柄控制的升降装置使结构简单方便操作；设置于底部的锥形面的托碗使其与加料筒的密封性良好同时也有利于硅料顺利的掉落到单晶炉内进一步提高了使用性能；简单的结构与良好的密封性提高了单晶炉的投料量增加了产能。

主权项

一种单晶炉二次加料装置，包括单晶炉（1）、设置在单晶炉（1）内的石英坩埚（6），其特征在于：所述单晶炉（1）内石英坩埚（6）的上方设有加料筒（2），所述加料筒（2）的顶端通过法兰盘（7）设置单晶炉颈部，加料筒（2）中心处设有套管（4）；吊杆(3)自上而下贯穿于套管（4）并通到加料筒（2）底部；所述吊杆（3）底部设置有与加料筒相配合的托碗(5)；所述托碗（5）的顶面为锥形面；所述单晶炉炉口处设置有控制吊杆（3）升降的升降装置（8），升降装置由设置在单晶炉外部的手柄（9）驱动。