| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법은 (A) 베이스 기판의 일면 또는 양면에 절연재를 적층하고, 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성된 이형층을 상기 절연재의 일면에 배치하는 단계, (B) 상기 이형층의 일면에 금속층을 배치하고 가압 및 가열 공정을 통해서 상기 이형층을 상기 절연재의 일면에 매립시키고, 상기 금속층의 테두리를 상기 절연재로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재를 제공하는 단계, (C) 상기 금속층의 일면에 빌드업층을 형성한 후 상기 빌드업층과 상기 기판 제조용 캐리어 부재를 관통하는 홀을 가공하는 단계 및 (D) 상기 홀에 기체를 주입하여 상기 금속층을 상기 이형층으로부터 분리시키는 단계를 포함하여 구성되며, 홀을 가공하여 홀에 기체를 주입함으로써 캐리어 부재로부터 빌드업층을 분리하므로 라우팅 공정을 수행할 필요가 없고, 빌드업층과 캐리어 부재의 크기가 유지되는 장점이 있다.</p> |
