用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法

摘要

本发明公开了一种用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法，其先将高纯熔融石英原料一起通过球磨研磨进行湿法造粒，将料浆充分搅拌后，再加入粉状高纯熔融石英原料混合均匀，然后注入石膏模具中进行充分的脱水成型，脱模；脱模后的坯体在180℃以下进行干燥，制得毛坯；对毛坯进行打磨、清洁预处理；在毛坯内表面喷涂0.2～0.7mm的氮化硅涂层；将喷有氮化硅涂层的毛坯在梭式窑炉中于1000～1300℃下烧结14～24小时。本发明较现有技术缩短了生产周期，简化了生产工艺，大大降低了能耗，提高了生产效率、成品率及企业的经济效益。

主权项

一种用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)将块状及粒状高纯熔融石英原料一起通过球磨研磨进行湿法造粒，研磨后的料浆粒径为10μm～50μm；(2)将料浆充分搅拌后，再加入粉状高纯熔融石英原料混合均匀，然后注入石膏模具中进行充分的脱水成型，脱模；(3)脱模后的坯体在180℃以下进行干燥，制得毛坯；(4)对毛坯进行打磨、清洁预处理；(5)在毛坯内表面喷涂0.2～0.7mm的氮化硅涂层；(6)将喷有氮化硅涂层的毛坯在梭式窑炉中于1000～1300℃下烧结14～24小时。