高功率发光二极管移除衬底的方法

摘要

本发明是一种高功率发光二极管移除衬底的方法，其是取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一停止层，该停止层的材质相异于衬底的材质；再以研磨器件对发光二极管的衬底进行研磨，使得衬底的厚度朝所述的停止层方向变薄；并且监控研磨器件对衬底的研磨进给变化，或是研磨面的光学变化；在研磨进给变化产生变异，或是研磨位置的光学变化产生变异时，停止研磨动作。所述的研磨进给变化产生变异是指研磨速度或研磨阻抗的变化，而所述的研磨位置的光学变化是指反射率或透光率产生变化。藉此可以达到操作简便、监控容易，且具有较低成本的功效。

主权项

一种高功率发光二极管移除衬底的方法，其特征在于，包括：取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一停止层，该停止层的材质相异于衬底的材质；以研磨器件对发光二极管的衬底进行研磨，使得衬底的厚度朝所述的停止层方向变薄；监控研磨器件对衬底的研磨进给变化；在研磨进给变化产生变异时，停止研磨动作。