光调制装置和激光加工装置

摘要

本发明涉及光调制装置和激光加工装置。光调制装置(101A)包括：反射型SLM(107)，其调制沿按第1方向延伸的第1光路而入射的激光(Lr)；电介质多层膜镜(106)，形成于使照明光(Li)透射的透光性部件(105)上，将从反射型SLM(107)而入射至前面的激光(Lr)反射到沿与第1方向相交叉的第2方向延伸的第2光路上，并将入射到背面的照明光(Li)在第2光路上透射；聚光透镜(109)，从电介质多层膜镜(106)接收照明光(Li)和激光(Lr)，并聚光照明光(Li)和激光(Lr)。

主权项

一种光调制装置，其特征在于，是一种对激光进行调制并输出，并且将波长不同于所述激光的照明光输出到与调制后的所述激光相同的光路上的光调制装置，包括：反射型的空间光调制器，从斜前方接收沿第1光路入射的所述激光，一边反射该激光，一边在二维排列的多个像素的每个中调制所述激光，其中，所述第1光路沿第1方向延伸；电介质多层膜镜，形成于使所述照明光透射的透光性部件上，将从所述空间光调制器入射到前面的所述激光反射到沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸的第2光路上，并且将入射到背面的所述照明光透射到所述第2光路上；聚光透镜，从所述电介质多层膜镜接收所述照明光和所述激光，并将所述照明光和所述激光聚光。